真空泵
定螺距螺杆转子特点： 1.结构简单，故障率低，成本较低，易维修。 2.高压段功耗相对低，适用于高负载应用场合。 3.排气路径短，减少反应物沉积。 适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程。
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